Genel bakış

Yarı iletken üretim tesisleri, nanoteknoloji merkezleri, nanofabrikalar ve diğer hassas üretim ve araştırma merkezleri genellikle karmaşık tesis gereksinimlerini (boru boruları, kablolar, gaz boruları vb.) karşılamak ve sıkı temizlik standartlarını korumak için temiz odaları aktif sahte zemin sistemleri ile birleştirir. Bu toprak, titremeye duyarlı üretim, test ve ölçüm ekipmanları için uygun değildir. Aktiv zemin, bu aletler için gerekli sessiz bir titreşim ortamı sağlayamaz. TMC'nin Quiet Island, hareketli toprak alanının bir kısmını aşağıdaki tabanda sabit bir "sessiz ada" ile değiştirir ve yenilikçi bir çözüm sunar. Quiet Island, temiz odaya uyumlu bir platform üstü ve uygulama ve sahaya özel bir destek yapısı içerir.

Döndürme

Quiet Island’ın temel destek bileşenleri ve çekirdek teknolojileri, STACIS III aktif güçlendirme sistemine entegre edilmiştir. Bu “katı” tip inertsi titreşim azaltma destek sistemi, bu tür aletlerin gürültülü ortamlarda yüksek standartlarla çalışmasını sağlayan herhangi bir titreşime duyarlı alet için idealdir. STACIS III, otomatik wafer işleme aletleri, yüksek çözünürlüklü elektron ışını görüntüleme aletleri, iyon ışını freze aletleri ve pasif veya aktif iç izolasyon sistemleri olan herhangi bir alet ile uyumludur (aktif izolasyonu aktif izolasyonu üzerine yığındırmak hakkında beyaz kitabımıza bakın). Ayrıca geniş frekans aralığında titreme yalıtımı da sağlar. Ayrıca "sabit kurulum" tasarımı çok sert, bu nedenle daha yüksek, ağır ve hafif aletler için istikrarlık sorunları yoktur.

Tüpler ve destekler

STACIS izolatörlerini destekleyen son derece sağlam ve dayanıklı tüpler, TMC'nin deneyimli mühendislik ekibi tarafından tasarlanmış ve ISO 9001 tesisimiz tarafından yüksek standartlara ve kaynak sertifikası ile üretilmiştir. Her Quiet Island, çeşitli etkinlikler için tasarlanmıştır. Dünya çapında 200'den fazla farklı alet modelini destekleyen binlerce cihaza sahip olan TMC, STACIS ve tesislerinizin ihtiyaçlarını karşılayacak destek yapıları tasarlamak için geniş bilgi ve deneyime sahiptir.

Sert Platform

Platform, TMC tarafından tasarlanan ve üretilen 4 inç (100 mm) kalınlıktaki bir çelik levha katmanından oluşur ve çelik levhalar hafif, sıkıştırılmayan, amortize edilen bir çekirdek malzemesinin etrafına sıkıştırılır. Sert çelik levhaların ve çekirdeklerin dikişsiz paslanmaz çelik levhalara epoksi reçine ile yapıştırılması, son derece yüksek sertlik ve yapısal amortisasyon sağlar. Büyük kesitler ve çelik içeriği çok yüksek genel sertlik üretir. Üst ve yan tarafları, temiz, güzel ve bütünlüğünü korumak için sürekli bir tek paslanmaz çelik gövdedir. TMC, kesimler, özel şekiller, sabit delikler ve asma halkaları da dahil olmak üzere gerektiğine göre uygulama özel platformlar tasarlayabilir ve üretebilir.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Quiet Island'ın Avantajları

STACIS - TMC endüstrisinden ** aktif PID teknolojisi, "sabit montaj" tasarımı ve 0,6 Hz'den başlayan titreme yalıtımı, yerleşik titreme yalıtımları ile uyumludur.

Modülerleşme, özelleştirme ve yeniden konumlandırma esnekliği - Her platform müşterinin uygulamasına göre özelleştirilir, ancak beton platformlardan farklı olarak, alet veya zemin özellikleri değişirse kolayca yeniden yapılandırılabilir.

Uzmanlık - TMC, yarı iletken üreticileri, bilimsel araştırma kurumları ve süper hassas OEM'ler ile çalışmada zengin deneyime sahiptir. Müşterilerimizi ve ihtiyaçlarını biliyoruz. Kendimiz tasarlayıp üretiyoruz.

Performans

24 inç yükseklikte, 40 inç x 60 inç Quiet Island, 4 koltuklu STACIS desteğinde,
Yerden VC-C girişi altında geçerlilik ölçümü

Özellikler

Performans Özellikleri

Izolatör tasarımı, boyutu, çevre ve kullanım gereksinimleri

DC-2020 Kontrolörü Özellikleri

Diğer parametreler

DiğerQuiet Island Yapımı

Çevre titreme özelliklerine sahip olmayan büyük aletler genellikle hareketli zeminden ayrı sert ve istikrarlı bir destek gerektirir. Sert Quiet Island ideal bir çözümdür. Sert Quiet Island, aynı yüksek performanslı platformun üstüne sahiptir ve herhangi bir yükseklikte, herhangi bir zemin geometrisinde ve çeşitli alet boyutlarında hareketli zemin temiz odaları için özelleştirilebilir. TMC, çeşitli ihtiyaçları karşılamak için çeşitli türlü sütunlar sunar ve böylece aletlere ve tesislere özel modüler, esnek bir şekilde yeniden konumlandırılabilir ve yükseltilebilir çözümler oluşturur.

Fotoğraf Uygulama

Çünkü bizim Quiet Island yüklü ® Alt zemin platformlarındaki cihazların karmaşıklığı, duyarlılığı ve değeri, sipariş için standart bir katalog oluşturmadıkHayır.

Her platformun belirli bir uygulama için özelleştirilmesi gerektiğini düşünüyoruz. Önerilen sipariş adımları şunlardır:

▪ Bize izole etmek istediğiniz cihazı veya aleti söyleyin. Binlerce cihazı yüklediğimizden, uygulamalarınızın gereksinimlerini karşılayacak bir platform tasarımımız olabilir. Ayrıca, adımlayıcı, ayarlayıcı, SEM ve diğer alet üreticileri ile yakın bağlantı kuruyoruz, bu nedenle yeni boyutlar, şekiller, ağırlık değişiklikleri ve zemin titreme özellikleri hakkında bilgi sahibi oluyoruz.

▪ Veya, hareketli bir zemin örgüsü sistemi için uygun bir platform isteyebilirsiniz. Müşteriler genellikle çift karoların yerine 47 x 47 inç (1.190 x 1.190 mm) bir platform seçerler.

▪ Etkinlik topraklarınızın katı tabanın yüksekliğinden daha yüksek olduğunu bize söyleyin.

▪ Lütfen bize alt zemin veya çelik kiriş / ızgara geometrisindeki herhangi bir delik desenini gösteren bir resim tanımlayın veya sağlayın.

▪ Lütfen bize yer titreme verilerini sağlayın veya bu verileri ölçmenin nasıl düzenleneceğini bizimle tartışın.

▪ Aletin titreşim hassasiyetini dikkate alın. Sert, rezonans olmayan sütunlarımız birçok alet için yeterli destek sağlar. Daha hassas uygulamalar hava veya piezoelektrik destek gerektirir